半導(dǎo)體超純水高耐久除氧器脫氣裝置

產(chǎn)品名稱: 半導(dǎo)體超純水高耐久除氧器脫氣裝置

產(chǎn)品型號(hào): 8900型系列

產(chǎn)品特點(diǎn): 半導(dǎo)體超純水高耐久除氧器脫氣裝置
日本 Aquath 8900 型系列 —— 高耐久、高性能“隔膜式"除氧器（脫氣裝置）
（適用鍋爐補(bǔ)給水、半導(dǎo)體超純水、食品工藝水等）
一、工作原理
中空纖維隔膜 + 真空抽吸并行
水在隔膜內(nèi)側(cè)流動(dòng)，外側(cè)保持真空；O?、CO? 分壓差驅(qū)動(dòng)氣體穿過膜壁被抽走，脫氣溫度可低至 10 ℃，無(wú)需熱力除氧的高溫蒸汽。
內(nèi)循環(huán)真空泵 + 噴射器組合，極限真空 ≤ 0.8 kP

半導(dǎo)體超純水高耐久除氧器脫氣裝置 的詳細(xì)介紹

半導(dǎo)體超純水高耐久除氧器脫氣裝置

日本 Aquath 8900 型系列 —— 高耐久、高性能“隔膜式"除氧器（脫氣裝置）
（適用鍋爐補(bǔ)給水、半導(dǎo)體超純水、食品工藝水等）

一、工作原理

中空纖維隔膜 + 真空抽吸并行

水在隔膜內(nèi)側(cè)流動(dòng)，外側(cè)保持真空；O?、CO? 分壓差驅(qū)動(dòng)氣體穿過膜壁被抽走，脫氣溫度可低至 10 ℃，無(wú)需熱力除氧的高溫蒸汽。

內(nèi)循環(huán)真空泵 + 噴射器組合，極限真空 ≤ 0.8 kPa；出口溶解氧 ≤ 5 μg L?1（5 ppb），CO? ≤ 0.1 mg L?1。

二、型號(hào)與性能（2025 產(chǎn)品手冊(cè)）

表格

復(fù)制

型號(hào)	處理水量	隔膜材質(zhì)	出口 DO*	外形 W×D×H	自重
8905	0.5 m3 h?1	PMP?	≤ 5 ppb	360×300×650 mm	28 kg
8910	1.0 m3 h?1	PMP	≤ 5 ppb	420×350×750 mm	38 kg
8930	3.0 m3 h?1	PVDF?	≤ 3 ppb	600×500×1100 mm	75 kg
8950	5.0 m3 h?1	PVDF	≤ 3 ppb	700×600×1300 mm	110 kg
*DO = 溶解氧；?PMP = 聚甲基戊烯高透氧中空纖維；?PVDF = 耐氧化、壽命更長(zhǎng)。

三、高耐久設(shè)計(jì)

隔膜束可抽取式：10 萬(wàn)小時(shí)設(shè)計(jì)壽命，現(xiàn)場(chǎng) 5 分鐘完成更換，無(wú)需拆管。
過流部全 316L + PTFE；密封圈全氟醚 (FFKM)，耐 80 ℃、20 % NaClO 清洗。
真空泵水循環(huán)冷卻，夏季連續(xù)運(yùn)行泵頭溫度 < 40 ℃，保證潤(rùn)滑油長(zhǎng)壽命。

四、控制與節(jié)能

PLC + 7 吋彩色觸控屏：實(shí)時(shí)顯示 DO、真空度、流量、壓差，支持 SD 卡數(shù)據(jù)記錄。
變頻真空控制：負(fù)荷波動(dòng)時(shí)自動(dòng)降低泵速，比定頻機(jī)型節(jié)電 15-25 %。
遠(yuǎn)程接口：RS-485 (Modbus-RTU) + 4-20 mA 輸出，可接入 DCS/SCADA。

五、典型應(yīng)用
① 半導(dǎo)體/面板超純水站終端脫氧，保護(hù) UV 185 燈、混床樹脂
② 鍋爐補(bǔ)給水除氧，替代熱力除氧器，節(jié)能 > 30 %
③ 食品/制藥工藝水脫氧，抑制好氧菌滋生，延長(zhǎng)保質(zhì)期
④ 實(shí)驗(yàn)室高純水系統(tǒng)進(jìn)水前處理，保證 DO ≤ 1 ppb

六、交貨與文件